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旧单晶硅炉奉贤涡旋高真空泵的5其特征在于所述气流导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口(13)通过通气管(19)相连通。7，根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)由石墨制成。其包括中轴孔，一对电极孔，以及与排气口相对的通气孔，石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通。本发明了一种直拉式单晶生长炉氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。与氩气输入管相连通的环形气体分布器，其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×10³Pa0.9×10³Pa。加热后工件随炉冷却 C． 井式炉 D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移）　E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座。用作退火之用周期式电阻炉的分类A． 箱式炉 B． 台车炉（分为自行式和牵引式）适用于大型炉子）F． 转筒式炉 G． 密封箱式炉（又称为多用炉这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）。

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因此，可以看出，额定极限短路分断能力Icn指的是低压断路器在分断了断路器出线端大三相短路电流后还可再正常运行并再分断这一短路电流一次，于以后是否能正常接通及分断，断路器不予以保；而额定运行短路分断能力Ics指的是断路器在其出线端大三相短路电流发生时可多次正常分断。IEC947—2《低压关设备和控制设备低压断路器》标准规定：A类断路器（指仅有过载长延时、短路瞬动的断路器）的Ics可以是25%、50%、75%和。B类断路器（有过载长延时、短路短延时、短路瞬动的三段保护的断路器）的Ics可以是Ics的50%、75%和。因此可以看出，额定运行短路分断能力是一种比额定极限短路分断电流小的分断电流值。封头炉盖高度：410mm14，副炉室尺寸：φ280×250015，籽晶转速范围：1～40rpm16，籽晶拉速范围：0.2～8mm/min17，籽晶快速：≥350mm/min18，籽晶在炉内有效行程：3500mm19，籽晶在副室内有效行程：2100mm20，坩埚升速范围：0.02～1mm/min21，坩埚快速：≥100mm/min22，坩埚在炉内有效行程：400mm23。