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99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅 ，是在硅结晶生长始时 ，用低速提拉，生长过程均速提拉的法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今 ，随着 IT产业的迅速发展 ，单晶硅生产市场需求剧，研制一种满足工艺要求，低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。在半导体材料中用量大和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料的 一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料 本文结合某单晶炉产品的研制 经折算后 (见下节式 ( 3) )。

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慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长，接着，控制籽晶生长出一段长为100mm左右，直径为3～5mm的细颈，用于高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程是引晶。概况编 z范围电源供电的感应电炉。使用多的频率为150-2500Hz。随着炉子容量的增大，使用的电流频率降低。国产中频感应炉的容量从50KG到20T，电流频率相应为2500-150Hz。这种涡流同样具有中频电流的一些性质，即，金属自身的自由电子在有电阻的金属体里流动要产生热量。例如，把一根金属圆柱体放在有交变中频电流的感应圈里，金属圆柱体没有与感应线圈直接接触，通电线圈本身温度已很低，可是圆柱体表面被加热到发红，甚熔化，而且这种发红和熔化的速度只要调节频率大小和电流的强弱能实现。如果圆柱体放在线圈，那么圆柱体周边的温度是一样的，圆柱体加热和熔化也没有产生有害气体、强光污染环境。